Емкостной датчик представляет собой плоский конденсатор с изменяемой емкостью. Работают на переменном токе, обычно, на частотах более 1 кГц. Принцип действия основан на изменении емкости конденсатора при перемещениях.
где С - емкость конденсатора; ξ — диэлектрическая проницаемость; S - площадь пластин; δ - расстояние между пластинами.
Емкостное сопротивление:
где f — частота питающей сети; с - емкость конденсатора. Емкость датчика обычно находится в пределах 10 - 100 Пф. С помощью таких датчиков можно измерять перемещения с точностью до 0,1 - 0,01 мкм. Достоинства: простота, высокая чувствительность, небольшие габариты, малая инерционность, небольшие силы взаимодействия между пластинами. Недостатки: большое влияние паразитных емкостей и посторонних электрических полей, сложны в регулировке, требуют специальных высокочастотных источников питания. Поэтому эти датчики получили ограниченное применение в системах автоматики. Емкостные датчики, как правило, включаются в мостовую или резонансную схему автоматики.
